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產(chǎn)品中心產(chǎn)品介紹
雅馬拓等離子清洗機(jī)PDC610產(chǎn)信息:
小型、多段式等離子清洗儀器,
用途
●提高各種材料的粘接性、表面改質(zhì)處理
●灰化、蝕刻處理
●塑料封裝前處理
●印刷基板鍍層前處理
●LED關(guān)聯(lián)部品處理
●電子部品清洗
●光刻膠剝離或表面殘留物去除
●光學(xué)、金屬、機(jī)械部品等精密部件的清洗
●包含氟化樹脂的樹脂類產(chǎn)品表面改質(zhì)
●FCC對應(yīng)
特征:
●600W的小型高輸出功率
●電極可選擇1·2·3段(采購時(shí))
●可處理縱型的試料收納盒
●可選擇RIE/DP模式(采購時(shí))
●數(shù)據(jù)記錄器(選配)
●適配點(diǎn)記憶功能(選配)
600W的小型高輸出功率電極可以根據(jù)需求進(jìn)行1、2、3段變更可以處理縱型收納倉RIE/DP雙工作模式切換調(diào)諧點(diǎn)記憶功能(選配功能)
雅馬拓等離子清洗機(jī)PDC610產(chǎn)品參數(shù):
型號 | PDC610 |
等離子模式 | RIE/DP(固定模式) |
電極構(gòu)造 | 3段獨(dú)立平行平板(固定) |
高頻輸出 | Max600W |
頻率 | 13.56MHz |
控制·顯示方式 | PLC·觸摸屏 |
反應(yīng)腔尺寸 | W350×D270×H300mm |
反應(yīng)腔材質(zhì) | A5052 |
反應(yīng)氣體 | 2系統(tǒng)(Ar、O2) |
填充氣體 | N2或干燥空氣 |
真空泵 | 油泵(約345L/分)·標(biāo)配 |
外形尺寸 | W600×D722×H700mm |
外裝材質(zhì) | 不銹鋼 |
電源 | 3相AC20050/60Hz15A |
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